Đã khắc phục lỗi phát hiện sai của cảm biến quang trong môi trường chân không cao.

Ngành công nghiệp bán dẫn

Một nhà sản xuất thiết bị chế tạo chất bán dẫn chuyên thiết kế các thiết bị lắng đọng chân không để sản xuất chất bán dẫn cho các tấm pin quang điện.
Một đại diện từ bộ phận thiết kế linh kiện cảm biến chất nền đã hỏi chúng tôi về việc "định vị" các chất nền thủy tinh trong môi trường chân không.

Các vấn đề của khách hàng

Cảm biến quang điện đã được sử dụng để phát hiện sự hiện diện của chất nền thủy tinh bên trong buồng chân không, tuy nhiên, đã có một số vấn đề về việc phát hiện sai do hiện tượng mờ kính quan sát trong quá trình bay hơi.
Hơn nữa, còn một vấn đề khác; chính phần cửa sổ quan sát này được gia công rất tốn kém.

Khách hàng đã tham khảo ý kiến ​​của các nhà sản xuất cảm biến lớn và thử nghiệm một cảm biến ảnh hiệu năng cao, tuy nhiên, việc sử dụng nó vẫn không thể ngăn chặn được các hiện tượng phát hiện sai.

Chuyến tham quan gian hàng của chúng tôi tại "Triển lãm Chân không " về công nghệ khuôn mẫu đã khuyến khích khách hàng biết đến các sản phẩm công tắc của chúng tôi và liên hệ với chúng tôi.

Trọng tâm chính của các vấn đề

Đặt đế thủy tinh trong môi trường chân không.

Hiện tượng mờ kính ngắm trong quá trình bay hơi gây ra hiện tượng nhận diện sai ở cảm biến ảnh.

Cửa sổ quan sát được gia công rất tốn kém.

Đề xuất của Metrol

Vì "cảm biến quang điện" thông thường phát hiện vật cần gia công bằng cách phản xạ ánh sáng phát ra, nên chúng dễ bị ảnh hưởng bởi các điều kiện bên ngoài như sương mù, giọt nước và phản xạ khuếch tán, v.v., dẫn đến việc thường xuyên phát hiện sai.

Hầu hết các kỹ sư đều cho rằng "Cảm biến không có tác dụng gì trong môi trường chân không".

Công tắc "tương thích với cấp độ chân không cao" của Metrol là một công tắc định vị chính xác cơ khí được sản xuất chỉ bằng các bộ phận tương thích với độ thoát khí thấp mà không có bất kỳ chất nền điện nào.
Công tắc này tương thích với môi trường chân không cao lên đến 10^-5 Pa và có khả năng phát hiện chất nền thủy tinh một cách an toàn ngay cả trong môi trường chân không cao.

Chúng tôi tùy chỉnh lực tiếp xúc của công tắc xuống còn 0,5 N hoặc thấp hơn và vật liệu đầu công tắc bằng nhựa đặc biệt, do đó không có nguy cơ làm trầy xước lớp nền thủy tinh nhạy cảm.

Cải tiến

Thực hiện việc định vị tấm bán dẫn trong môi trường chân không cao 10^-5 Pa.

Không có hiện tượng phát hiện sai do tiếp xúc trực tiếp với tấm bán dẫn.

Nhờ đó, nhu cầu về cửa sổ quan sát được loại bỏ, và chi phí gia công giảm đáng kể.

Bình luận từ đại diện của Metrol

Do các điểm tín hiệu của các cảm biến quang như "cảm biến quang điện" và "cảm biến sợi quang" không nhìn thấy được, việc điều chỉnh lắp đặt đã mất hơn hai ngày.
Do các điểm tín hiệu của "công tắc định vị chính xác" kiểu tiếp xúc của Metrol có thể nhìn thấy được, nên vị trí lắp đặt có thể được chỉ định trên bản vẽ CAD khi thiết kế.

Trong ngành công nghiệp bán dẫn, chúng ta có nhiều kinh nghiệm ứng dụng trước đây về việc định vị trong các thiết bị chân không như "thiết bị lắng đọng phún xạ", "thiết bị bay hơi EL hữu cơ", "máy khắc", và "giá đỡ wafer", v.v.

Nếu bạn gặp bất kỳ khó khăn nào trong việc định vị hoặc phát hiện sự hiện diện trong môi trường chân không, vui lòng liên hệ với Metrol.

Chúng tôi mong sớm nhận được phản hồi từ bạn về việc chuẩn bị mẫu để đánh giá.

Để biết thêm thông tin về các sản phẩm được sử dụng trong ứng dụng này, vui lòng tham khảo thêm.

Công tắc điện trở chân không cao

Đã khắc phục lỗi nhận diện sai của cảm biến quang trong môi trường chân không!