Làm thế nào để đạt được khả năng định vị tiết kiệm không gian trong môi trường chân không cao với lượng khí thoát ra thấp?
Bàn lục
Những vấn đề nào thường xảy ra trong môi trường chân không?
Sự thoát khí gây ra nhiều vấn đề khác nhau.
Hiện tượng "thoát khí" là một trong những vấn đề quan trọng nhất trong các quy trình sản xuất trong môi trường chân không.
Hiện tượng này xảy ra với nhiều thành phần khác nhau như đồ gá, linh kiện, chất kết dính và dây dẫn khi sử dụng trong môi trường chân không.
Khí thoát ra từ vật liệu bám vào thành trong của buồng chân không và các chi tiết gia công, dẫn đến các vấn đề như:
- Giảm năng suất do sản phẩm lỗi
- Vấn đề chất lượng
- Chi phí kiểm tra tăng cao
Do đó, việc lựa chọn và sử dụng các đồ gá, chi tiết và vật liệu "ít phát thải khí" trong môi trường chân không là rất quan trọng.
Cần có thiết kế dành cho không gian nhỏ.
Do thiết bị sản xuất chất bán dẫn và buồng chân không chỉ có không gian nhỏ bên trong, nhà thiết kế cần phải thiết kế sao cho phù hợp với không gian hạn chế và sử dụng các vật liệu có độ thoát khí thấp.
Do đó, "Làm thế nào để thiết kế thiết bị mà không tạo ra hiện tượng thoát khí trong môi trường chân không với không gian hạn chế?" có thể là một trong những vấn đề chính trong sản xuất ở môi trường chân không cao.
Các đặc điểm của công tắc điện trở chân không cao là gì?
Giới thiệu 3 tính năng của công tắc điện trở chân không cao dòng GN:
Sản phẩm này là một "công tắc cảm ứng" phát ra tín hiệu BẬT/TẮT khi tiếp xúc với đồ gá hoặc phôi gia công.
Chúng thường được sử dụng với tất cả các loại thiết bị và robot để định vị và xác định vị trí ban đầu .
Sau đây là ba tính năng của các thiết bị dòng GN tương thích với hệ thống hút chân không.
Đặc điểm 1: Thân công tắc sử dụng vật liệu có độ thoát khí thấp.
Tính năng 2: Kích thước siêu nhỏ gọn giúp tiết kiệm không gian
Tính năng 3: Việc lắp ráp được thực hiện trong phòng sạch để ngăn ngừa ô nhiễm. Danh mục sản phẩm
Đặc điểm 1: Thân công tắc sử dụng vật liệu có độ thoát khí thấp.
Công tắc điện trở chân không cao
Chúng được làm từ các vật liệu giúp giảm thiểu hiện tượng thoát khí, một nguyên nhân phổ biến gây ô nhiễm, với hầu như không có khí thoát ra ngay cả trong môi trường chân không cao cấp 10-5 Pa.
Các vật liệu được sử dụng cho thân công tắc như sau.
[Chất liệu thân máy]
・SUS304
・SUS420
・BsBM
[Các bộ phận Nhựa resin ]
"PEEK" được sử dụng cho các bộ phận bằng nhựa bên trong công tắc tương thích với môi trường chân không.
Đây là vật liệu có độ thoát khí thấp, hàm lượng hợp chất hữu cơ dễ bay hơi và ion kim loại rất thấp, cho phép sử dụng trong môi trường chân không mà không cần lo lắng về sự nhiễm bẩn.
[Dây cáp thân máy]
Sử dụng vật liệu "PTFE" .
[Chất kết dính: Torr Seal]
Sử dụng chất kết dính có độ thoát khí thấp “Torr Seal” .
[Các chất cấu thành khác]
Công tắc điện trở chân không cao không sử dụng mỡ, chất bôi trơn hoặc dầu .
Danh mục
Tính năng 2: Kích thước siêu nhỏ gọn giúp tiết kiệm không gian
Dòng công tắc điện trở chân không cao GN là các công tắc định vị siêu nhỏ gọn, có thể dễ dàng lắp đặt trong không gian chật hẹp.
Tính năng 3: Độ thoát khí thấp ngay cả trong môi trường chân không cao cấp 10-5 Pa
Thân công tắc được làm bằng vật liệu có độ thoát khí thấp, có thể sử dụng trong môi trường chân không cao (10-1 Pa đến 10-5 Pa).
Một số quy trình chân không cao phổ biến được sử dụng trong công nghiệp bao gồm lắng đọng chân không, phun phủ và thiết bị xử lý màng mỏng.
※Môi trường thông thường ~ Môi trường chân không cao: HV: chân không cao (10⁻¹Pa~10⁻⁵Pa)
▲ Công tắc điện trở chân không cao Dòng GN, phạm vi Áp suất sử dụng được
Tính năng 4: Được lắp ráp trong phòng sạch để ngăn ngừa ô nhiễm.
Các công tắc điện trở chân không cao được lắp ráp trong các điều kiện sau để ngăn ngừa ô nhiễm.
• Các bộ phận lắp ráp được làm sạch trước khi sử dụng.
• Việc lắp ráp được thực hiện trong phòng sạch.
• Sử dụng găng tay cao su (không bột) khi lắp ráp.
Lựa chọn giữa các loại công tắc điện trở chân không cao
Có năm tùy chọn cấu hình sau đây để bạn lựa chọn.
• Hình dạng Tiếp xúc
• Hướng cáp
• Chiều dài Cáp
• Chế độ Hoạt động : Thường mở (NO) hoặc Thường đóng (NC)
• Đường kính/ Chiều dài Hành trình
Thông số 1: Hình dạng Tiếp xúc
Công tắc sẽ phát ra tín hiệu khi bề mặt tiếp xúc bị chạm vào.
Hình dạng tiếp xúc cần được lựa chọn dựa trên góc độ tiếp xúc với vật thể.
Có hai loại hình dạng tiếp điểm sau đây dành cho công tắc điện trở chân không cao.
(1) Tiếp xúc Thẳng
(2) Tiếp xúc Góc
(1) Khi tiếp điểm được chạm từ phía trước: " loại tiếp điểm Thẳng "(dòng PT)
*Lưu ý phòng ngừa
Không thể sử dụng các loại tiếp điểm Thẳng nếu tiếp xúc ở một góc vì điểm tiếp xúc hoặc các bộ phận bên trong có thể bị hư hỏng.
Hãy luôn sắp xếp sao cho việc tiếp xúc diễn ra theo hướng thẳng.
(2) Khi tiếp xúc được chạm vào ở một góc: “ loại tiếp xúc Góc ” (Dòng tiếp xúc bi BP)
• Các chi tiết gia công có bề mặt tiếp xúc cong
• Các tấm màn hình LCD lớn hoặc các chi tiết mạch in có thể bị cong vênh.
Trong các trường hợp nêu trên, hãy chọn công tắc tiếp điểm góc (dòng BP) có tiếp điểm dạng bi.
Các công tắc điện trở chân không cao loại tiếp điểm bi có 2 loại đường kính và chiều dài hành trình.
• Chiều dài hành trình của loại M5: 0,8mm
• Chiều dài hành trình của loại M16: 2,9mm
Danh mục
Thông số 2: Hướng cáp
Chọn một trong 2 kiểu hướng cáp chuyển mạch sau.
(1) Thẳng
(2) 90°(R)
Hãy chọn hướng đi phù hợp với cách bạn muốn quản lý dây cáp bên trong thiết bị hoặc buồng chân không có không gian hạn chế.
Thông số 3: Chiều dài Cáp
Chiều dài cáp tiêu chuẩn cho Công tắc điện trở chân không cao là 0,5 m .
Bạn có thể chọn độ dài từ ba loại tùy chọn sau.
《Tùy chọn về chiều dài cáp 》
・1m
・3m
・5m
Thông số 4: Chế độ Hoạt động
Có 2 chế độ hoạt động, thường mở và thường đóng.
Điểm hoạt động của tín hiệu khác nhau giữa chế độ thường mở và chế độ thường đóng.
• Thường mở (NO):
Tín hiệu được phát ra khi công tắc tiếp xúc với bề mặt tiếp xúc và được nhấn xuống từ 0,2 đến 0,3 mm.
• Thường đóng (NC):
Quãng đường di chuyển trước khi tín hiệu được chuyển đổi là 0 (khoảng cách di chuyển trước khi tín hiệu được chuyển). Tín hiệu được phát ra khi tiếp xúc với mục tiêu.
Tóm tắt các thông số kỹ thuật:
• Hình dạng Tiếp xúc
• Hướng cáp
• Chiều dài Cáp
• Chế độ Hoạt động : Thường mở (NO) hoặc Thường đóng (NC)
・ Danh mục đường kính
《 Bàn thông số kỹ thuật Công tắc điện trở chân không cao Dòng GN 》
*1: Chiều dài tổng thể = Từ đầu tiếp xúc đến cuối thân máy (không bao gồm chiều dài dây)
*2: Đơn vị độ dài: mm
Câu hỏi thường gặp & Những điểm cần ghi nhớ
Nhiệt Chịu nhiệt (giới hạn trên và dưới)
Giới hạn trên về khả năng chịu nhiệt của các công tắc điện trở chân không cao là 120°C và giới hạn dưới là 0°C.
Khi nướng để khử khí, có thể sử dụng ở nhiệt độ lên đến 120°C trong khoảng 2 giờ mà không gặp vấn đề gì.
Tốc độ Hoạt động và tiếng ồn
Tránh sử dụng tốc độ vận hành thấp, ví dụ 10mm/phút, vì có nguy cơ gây rung giật.
Cuộc sống Tiếp xúc
Có thể sử dụng cho 3 triệu lần chuyển đổi BẬT⇔Tắt.
Mô-men xoắn siết chặt khi lắp đặt đai ốc và vít
Mô-men xoắn siết chặt của đai ốc và vít khi lắp đặt công tắc phải là 1N/m .
Những câu chuyện thành công và Ứng dụng thực tiễn
Phần này giới thiệu những câu chuyện thành công về công tắc điện trở chân không cao theo ngành công nghiệp, ứng dụng và chi tiết gia công.
Các ngành công nghiệp:
• Bán dẫn
• Màn hình LCD
・ OLED
• Hàng không vũ trụ
Các Vỏ nghiên cứu/ứng dụng:
Các ứng dụng định vị sau đây rất phổ biến trong môi trường chân không.
• Phôi gia công
• Chỗ đặt Phôi gia công
• Định vị Đồ gá
Các chi tiết gia công có thể phát hiện được:
• Chất nền: thủy tinh, kim loại, nhựa
Ví dụ thực tế về cách triển khai:
• Định vị vị trí đặt thiết bị trong buồng chân không
• Định vị Phôi gia công trong thiết bị lắng đọng chân không
• Thiết bị phun phủ
• Định vị trong thiết bị sản xuất màng mỏng
• Định vị tấm bán dẫn
• Bệ định vị tương thích với Chân không
• Kiểm tra độ khít của mặt nạ với giá đỡ chất nền. Danh mục sản phẩm
Ví dụ cải tiến với công tắc có điện trở chân không cao
Ví dụ ứng dụng 1: Định vị bàn XY trong ngành bán dẫn
Điểm vấn đề
- Trục XY dịch chuyển vài micromet do hiện tượng tự tỏa nhiệt.
- Cảm biến vi ảnh không có khả năng xác định nguồn gốc chính xác.
Sau khi cải thiện
- Việc phát hiện vị trí bàn Độ chính xác có thể thực hiện được nhờ công tắc cảm ứng loại tiếp xúc.
Ví dụ áp dụng 2: Xác nhận vị trí đặt Đế thủy tinh
Điểm vấn đề
- Các đầu nối chân không đặc biệt rất đắt tiền, lên đến hơn 2.000 đô la Mỹ.
- Việc lắp đặt cửa sổ quan sát là cần thiết.
* Các "cảm biến sợi chân không trong suốt" hoặc "cảm biến dịch chuyển" từ các nhà sản xuất khác đều có sẵn để thay thế.
Tuy nhiên, so với Công tắc điện trở chân không cao, thường có giá khoảng 300 ~ 500 đô la, thì giá của cảm biến sợi quang cao hơn nhiều, từ 2000 ~ 5000 đô la trở lên cho mỗi đơn vị và bộ khuếch đại.
Sau khi cải thiện:
- Không cần đến các đầu nối chân không đặc biệt, đắt tiền.
- Có thể tiết kiệm chi phí bằng cách không cần cửa sổ quan sát.
Ví dụ về việc nhận con nuôi 3: Tìm nguồn gốc người mang mầm bệnh
Điểm vấn đề
- Tôi muốn xác định gốc tọa độ của một giá đỡ trượt bằng cách sử dụng 2 điểm trên bề mặt đáy và bề mặt bên.
Sau khi cải thiện:
- Việc tích hợp một công tắc cảm ứng loại tiếp xúc bi vào khuôn mẫu cho phép thiết kế một hệ thống định vị bề mặt đáy chỗ ngồi.
- Việc xác định vị trí gốc chính xác cao của bề mặt bên được thiết kế bằng cách sử dụng công tắc loại ứng thẳng.
Thông tin Tiếp xúc và sản phẩm
"Tiếp xúc"
Các kỹ sư của chúng tôi sẽ giải đáp mọi thắc mắc về phương pháp sử dụng sản phẩm hoặc yêu cầu tùy chỉnh sản phẩm.
Chúng tôi có thể hỗ trợ tốt nhất nếu bạn cung cấp thông tin chi tiết về ứng dụng, môi trường sử dụng và loại chi tiết cần phát hiện.
Vui lòng sử dụng mẫu liên hệ bên dưới để liên hệ với chúng tôi.
Thông tin chi tiết hơn về công tắc điện trở chân không cao:
Vui lòng điền vào mẫu sau để tải xuống danh mục.
《Địa điểm sản xuất》
Nhấp vào đây để truy cập trang web của loạt phim GN.
